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智能制造ETF（516800）跌1.93%，成交额655.51万元 稀土ETF（516780）跌2.05%，成交额3150.00万元 基建ETF（516950）涨0.28%，成交额3757.38万元 新材料ETF基金（516480）跌1.91%，成交额20.49万元 沪港深科技ETF（517360）跌0.80%，成交额3.86万元 沪深300ESGETF（561900）涨0.48%，成交额663.09万元 碳中和ETF（159790）涨0.17%，成交额2249.98万元 医疗保健ETF（516790）跌1.36%，成交额596.31万元